SEMICON JAPAN
2023
特集

   誌面とWEBの連動企画!
   (月刊「新製品情報」23年12月号特別企画)

オンラインでじっくり検討!

 パソコンやスマートフォンといった身近な電子機器から自動車、ロボット、工作機械まで、今や私たちの身の回りには半導体を始めとする電子部品を用いたエレクトロニクス製品であふれている。現代の便利な生活はこういったエレクトロニクス製品の恩恵によって成り立っていると言えるだろう。
 こうした中、DX 時代を支えるエレクトロニクスの製造サプライチェーンを、そのコアとなる半導体を主軸に、車や IoT 機器などのアプリケーションまでカバーする国際展示会『SEMICON JAPAN2023』(主催:SEMIジャパン)が 2023年12月13日(水)~12月15日(金)までの3日間、東京ビッグサイトで開催される。
高速通信から AI までコア技術を網羅
 SEMICON Japan は半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車や IoT 機器などの SMART アプリケーションまでをカバーする、エレクトロニクス製造サプライチェーンの国際展示会だ。展示会場では、半導体製造工程全域にわたる展示が一堂に会するため、幅広い分野のエレクトロニクス製品に対応でき、半導体関連のあらゆる課題解決を網羅できる。
 同展に出展しているのは、半導体用設計装置、マスク製造用装置、ウェーハ製造用装置、ウェーハプロセス用装置、組立用装置、検査用装置など半導体製造関連の企業だ。そこには、プロセス材料、テスト材料、組み立て材料、基板、パーツ・サブシステムといった半導体製造用部品や材料を扱う企業も含まれる。
 また、AI、機械学習、5G/6G 高速通信技術、量子コンピューティング、自動車(EV、自動運転)VR/メタバース、宇宙産業、空モビリティ/ドローンなど、先端半導体や将来アプリケーションの分野を切り拓く企業の出展も多く、最先端の企業が会場に集結する。
つかめ、未来を。つくれ、時代を。
 今回の同展のテーマは、「つかめ、未来を。つくれ、時代を。」。世界のサステナブルな発展を支える半導体。半導体によって、社会全体が新たなフェーズへと進んでいる。目指すのは、豊かな暮らしを多くの人が共に享受する未来だ。
 半導体は、世界が求める未来の実現に大きな責任を担っている。より高性能で、より低コストで、より大量の半導体が必要とされており、その供給の担い手たちが結集するのが、このSEMICON Japan だ。
見出し
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 こうした半導体を中心にしたイノベーションが新しい時代をつくることになるはずだ。現在は、デジタルのパワーとスピードが全てを変える時代であり、デジタルが未来を引き寄せる時代と言える。
 その息吹を、世界から集う参加者と共有できる3日間なのだ。「つかめ未来を。つくれ時代を。」という今回のテーマには、そんな未来を担う想いが込められている。
デバイスメーカーやエンジニアが多数来場
 半導体は、5G/6G 高速通信技術、AI・機械学習、自動車の電動化、自律運転技術、メタバース、メドテックなど、現代の最先端アプリケーションにコア技術として組込まれており、半導体やエレクトロニクスの最先端を確認することで、今後の未来を思い描くこと
が可能となるだろう。
 会場には、最新の製造技術や製品を検討しているデバイスメーカーや OSAT の技術者、最先端のエレクトロニクスの動向を知りたいシステムメーカー、半導体やエレクトロニクスの技術動向・市場動向を知りたい経営者・投資家、業界動向をアップデートしたい営業・マーケティング担当者、未来へ向かっての技術を学びたいエンジニア、エレクトロニクス業界への就職を検討している学生など、幅広い来場者が訪れる。
 会場では、『Super THEATER』と銘打たれた基調講演も開催され、世界のビジョナリーが連日登壇し未来を語るほか、第一線の技術者が半導体プロセス・デバイスやその周辺の技術動向や市場を語る『SEMI テクノロジー シンポジウム(STS)』なども開催される。
 また 、同時開催展として、『APCS( Advanced Packaging and Chiplet Summit)』 も開催。会場では、2.xD/3D、チップレット、ボンディング、RDL などの活用により新たな局面を迎えるアドバンストパッケージ分野における最新動向を紹介する。
 このようにエレクトロニクスに関する幅広い分野からの出展がある SEMICON Japan。その会場では最先端の様々なエレクトロニクス技術が交わることで、新たな進化が起きるだろう。
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SEMICON JAPAN2023

会場:東京ビッグサイト
会期:2023年12月13日(⽔)〜15日(金)10:00〜17:00
   (最終日は16:00)
主催:SEMIジャパン

Micro-Epsilon Japan  :東6ホール 小間番号 6938
日本アスコ(Emersonグループ):東3ホール 小間番号 3724

Micro-Epsilon Japan

1968年ドイツで創業の老舗変位計の
オーソリティメーカー

日本アスコ
(Emersonグループ)
ASCOは電磁弁のパイオニアメーカです。                     
これまで蓄積してきた経験を活かし半導体製造工程における
コストダウン事例をご紹介します。
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 Micro-Epsilon Japan 

1968年ドイツで創業の老舗変位計の
オーソリティメーカー

『more precision』をスローガンに、半導体、機械装置、モビリティ、食薬、航空・宇宙などあらゆる産業で使用できる高精度、高品質かつ革新的なセンサおよびセンサシステム製品を50年以上にわたり創り、そして提供し続けるドイツ・バイエルン州に本社を置くMICRO-EPSILON社の日本法人Micro-Epsilon Japan株式会社として2019年に設立。製造現場で安心して使用できる様々なセンサの販売・アフターサービスを実施。幅広いスタンダード品を用意しているが、仕様変更・カスタムにも対応。

プレゼン! わが社の一押し製品

白色干渉計 interferometer IMS5420シリーズ

干渉の原理を用いたインラインでウェハの厚さ測定ができる高精度白色干渉計センサ。ベアウェハから高濃度ドーピングウェハまで、上下で挟み込むことなく、ひとつのセンサで片側からナノメートル分解能で0.05から1.05 mmの厚さ測定が可能。
また、EtherNET、EtherCAT、RS422、PROFINET、EtherNET/IPなど多彩なインターフェースに対応しており、設定および測定データの確認がウェブブラウザにより容易に行える。
最大5層までの
多層計測が可能

(オプション)
最小分解能1 nm、
最大6 kHzの
測定レート

超高真空対応
(センサ/ケーブル)

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注目のラインナップ

3D平面度測定センサ 「reflectCONTROL」
『reflectCONTROL』は、最大150mmまでのシリコン
ウェハなど光沢のあるワークの平坦度をサブミクロンの分解
能で測定するセンサ。




渦電流式非接触センサ 「eddyNCDT」

アクティブ温度補正機能で-50 - 350℃の温度範囲で高精度測定を実現。
400種類を超えるセンサモデルを有しており、油など液体、粉塵、汚れ、水蒸気等の影響を受け難く、ウェハラッピングマシンのギャップ測定等、厳しい周囲環境下(IP67クラス)でも高精度計測が可能。

コンパクト共焦点式センサ
システム 「IFDシリーズ」
『confocalDT2411』シリーズは、従来性能のままコントローラを1/3に小型化、優れたコストパフォーマンスの共焦点式センサシステム。
『confocalDT2410/2415』シリーズは、機器組み込みに最適なコントローラ内蔵の共焦点式センサシステム。両シリーズともワークまでの距離、透明体の厚さをマイクロメートル精度で測定。
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しっかり比較!

 日本アスコ(Emersonグループ)

半導体製造において新しいN2や流体制御方法によるコストダウンをご提案します。

日本アスコは、電磁弁のパイオニアASCOグループの日本法人として1970年に設立。
世界中の発電所やインフラ設備など重要、安全系統で採用される信頼性の高い製品を提供しています。また流体制御においてお客様の多様なニーズに対応することができる幅広い製品シリーズを取り揃えており、新発想の制御方法をご提案します。

プレゼン! わが社の一押し製品

比例制御電磁弁

標準的なON/OFF電磁弁とは違い、0~100%の間で自由に流量調整が可能です。流量制御でご使用中のマスフローコントローラーを置き換える事で最大80%のコストダウンを実現。会場では実際にN2パージを想定した流量制御のデモンストレーションを、流量制御をグラフ化できるEMERSONの制御システムと合わせて展示。お客様にも制御体験をしていただきます。

比例弁の仕組みがよくわかる!カンタン解説ビデオ

微小流量~最大400L/minの
制御が可能(エア、ガス)
高精度(繰り返し精度1%以下、ヒステリシス3%以下)

様々な流体に対応し、お客様の仕様に合わせてカスタマイズ可能

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注目のラインナップ

広温度範囲対応電磁弁
(-80~150℃)

半導体製造に欠かせないチラー用に電磁弁を開発。超低温から高温まで(-80~150℃)使用可能で、特殊な冷媒でもご使用いただけます。
その他-196℃の液化窒素、液化酸素などにも対応できる超低温流体用電磁弁も取り揃えております。お客様の仕様に合わせたカスタム対応も可能です。特殊冷媒、温度範囲でお困りの方はぜひ一度ご相談ください。

エアオペレートピストンバルブ


ピストンバルブは、駆動シリンダーと弁を一体化させ、ピストンロッドの往復運動で直接弁本体を開閉させるバルブです。強力かつ信頼性が高く、蒸気や高粘度の流体制御で力を発揮し、100万回の作動にも耐えられるよう設計されています。当社のピストン弁は-60~220℃の温度範囲で使用可能でチラー制御にも最適です。


近接型リミットスイッチ
GO Switch(TOPWORX)
物体の接近やその有無をとらえて動作する近接型スイッチ。
日本アスコが取り扱う電源不要の耐環境、近接型スイッチ『GO Switch』は、非接触センシングのため露出した検出機構がなく、可動部の固着や検出位置のズレが起きません。IP68、本体材質SUS316L仕様で、粉塵や水の侵入がなく、腐食環境、船底など潜水使用も可能です。また、-50~204℃の作動温度範囲や50Gの耐衝撃性を実現。コンパクトタイプや水没仕様など幅広いラインナップから選べます。
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